Lab Companion 無(wú)塵高溫箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門(mén)；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無(wú)塵高溫箱是實(shí)驗(yàn)輔助干燥設(shè)備之一，應(yīng)用范圍廣泛，操作較復(fù)雜，因此，較一般烘箱有著更高的要求，使用過(guò)程中就有著更多需要注意的地方。

一、樣品放置

1、不可在烘箱加熱狀態(tài)下放置樣品，需在確保加熱關(guān)閉狀態(tài)下放置樣品；

2、放置樣品時(shí)，上下四周應(yīng)留存一定空間，保持箱內(nèi)氣流暢通；

3、若樣品在干燥過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生相態(tài)變化，必須裝在托盤(pán)中，避免污染其他樣品；

4、任何液態(tài)溶劑以及真空狀態(tài)下燃點(diǎn)、沸點(diǎn)降低至150℃以下物品，嚴(yán)禁放入箱內(nèi)。

二、關(guān)緊箱門(mén)

1、關(guān)閉時(shí)不可太用力，避免造成箱體大幅震動(dòng)；

2、箱門(mén)上有螺栓，關(guān)閉時(shí)需確認(rèn)箱門(mén)與硅膠密封條緊密結(jié)合。

三、加熱

1、加熱步驟必須在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進(jìn)行，否則易導(dǎo)致內(nèi)外壓強(qiáng)及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；

2、升溫過(guò)程中，加熱指示燈長(zhǎng)亮，達(dá)到設(shè)置溫度后，加熱自動(dòng)停止，同時(shí)指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時(shí)，加熱再次啟動(dòng)，加熱指示燈亮；

3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人。

四、溫度設(shè)置

1、設(shè)置溫度不可超過(guò)額定溫度，真空下物料燃點(diǎn)、沸點(diǎn)驟降，設(shè)置溫度不合理會(huì)造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；

2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時(shí)關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負(fù)責(zé)人；

3、操作人員需待實(shí)際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開(kāi)；

4、為避免控溫失靈，需有專(zhuān)人定時(shí)查看儀器運(yùn)行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時(shí)間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開(kāi)放氣閥門(mén)。

五、取樣

1、放氣時(shí)切勿將閥門(mén)一次開(kāi)至zui大，避免外部氣流進(jìn)入箱內(nèi)時(shí)沖擊樣品，造成箱內(nèi)及樣品間的污染；

2、由于長(zhǎng)時(shí)間真空導(dǎo)致箱門(mén)密封硅橡膠變形而無(wú)法打開(kāi)箱門(mén)時(shí)，不可強(qiáng)制開(kāi)啟箱門(mén)，只需等待密封硅橡膠圈緩慢恢復(fù)原狀，即可打開(kāi)箱門(mén)。

3、取樣完畢后，及時(shí)關(guān)閉放氣閥門(mén)。

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